과제명 : MEMS기술에의한 SnO2가스센서의 연구동향

분석구분

과제수행자

손*목

분석일

2003-01-08 12:00:00.0

기술산업분류

작성기관

한국과학기술정보연구원

키워드

MEMS  SnO2가스센서  마이크로 센서

과학기술표준분류

내용

SnO2 반도체 가스 센서의 형태는 후막과 박막, 그리고 마이크로 센서로 나눌수 있다. MEMS 기술을 적용하는 마이크로 센서의 제작은 작동온도의 선정, 제조과정 및 도핑재료의 선정에 따라서 가스분석의 선택성, 응답의 신속성등의 장점을 줄수있다. 제법의 집적화, 소형저가 및 대량생산, 이에따른 사용의 편리성, 하나의 분석에 다수 센서를 동원하는 어레이형을 적용하므로 해서, 부담없이 다양하게 센서를 쓸 수 있는 장이 열릴 것이다.

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