과제명 : 마이크로 액추에이터(Microactuator) 기술의 발전

분석구분

과제수행자

박*선

분석일

2002-11-20 12:00:00.0

기술산업분류

작성기관

한국과학기술정보연구원

키워드

MEMS  마이크로 액추에이터  

과학기술표준분류

내용

MEMS 기기의 핵심 소자 중 하나인 마이크로 액추에이터 기술에 대한 최근의 기술 개발 동향과 장래 연구 방향, 그리고 실용화를 위한 주요 과제를 분석하였다. 또한 최근 증가 추세에 있는 국내외 특허 출원 현황을 파악하고 연구 잠재력이 향상 중인 국내 현황을 확인하였다.

분석물

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